形状測定装置および該方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小谷悦司 , 櫻井智
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-185809
公開番号（公開出願番号）：特開2009-025030
出願日： 2007年07月17日
公開日（公表日）： 2009年02月05日
要約：

【課題】本発明は、受信信号を得てからより短い時間で物体の形状を求め得る形状測定装置および形状測定方法を提供する。【解決手段】本発明の形状測定装置は、物体に対して位置を変えながら送信パルスを放射することで受信された複数の受信信号の波形と送信パルスの波形との相互相関をそれぞれ求めて複数の相関波形を求める相関波形演算部131と、相関波形の極値を求めてこの極値を与える値を遅延時間として複数の相関波形のそれぞれについて求める遅延時間演算部132と、送信パルスの中心周波数および受信信号の中心周波数に基づいて遅延時間を補正する補正値を複数の相関波形のそれぞれについて求める補正値演算部133と、各補正値で補正された各遅延時間に基づいて擬似波面を求める、または各遅延時間に基づいて擬似波面を求め各補正値に基づき補正する擬似波面演算部134と、擬似波面に基づいて前記物体の形状を求める形状演算部135とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

物体の形状を測定する形状測定装置において、パルスを生成して送信パルスとして空間に放射するパルス生成放射部と、前記送信パルスが前記物体で反射した反射波を受信信号として受信する受信部と、前記物体に対して前記送信パルスの放射位置を変えながら前記パルス生成放射部から前記送信パルスを放射することによって前記受信部で受信された複数の受信信号の波形と前記送信パルスの波形との相互相関をそれぞれ求めることで複数の相関波形を求める相関波形演算部と、前記相関波形の極値を求めて前記極値を与える値を、前記送信パルスを送信してから前記反射波を受信するまでの遅延時間として、前記複数の相関波形のそれぞれについて求める遅延時間演算部と、前記送信パルスの中心周波数および前記受信信号の中心周波数に基づいて前記遅延時間を補正する補正値を前記複数の相関波形のそれぞれについて求める補正値演算部と、前記補正値演算部で求めた前記各補正値で前記遅延時間演算部で求めた前記各遅延時間をそれぞれ補正し、補正した前記各遅延時間に基づいて擬似波面を求める、または、前記遅延時間演算部で求めた前記各遅延時間に基づいて擬似波面を求め、求めた前記擬似波面を前記補正値演算部で求めた前記各補正値に基づき補正する擬似波面演算部と、前記擬似波面演算部で求めた前記擬似波面に基づいて前記物体の形状を求める形状演算部とを備えることを特徴とする形状測定装置。

IPC (1件)：

G01S 13/89

FI (1件)：

G01S13/89

Fターム (11件)：

5J070AB01 , 5J070AD02 , 5J070AD05 , 5J070AD08 , 5J070AF02 , 5J070AF03 , 5J070AF05 , 5J070AH04 , 5J070AK04 , 5J070AK40 , 5J070BE01

引用特許：

出願人引用 (1件)

形状測定装置及び該方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-168863 出願人：国立大学法人京都大学

前のページに戻る