特許
J-GLOBAL ID：200903066754856897
弾性波装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1997001584
公開番号（公開出願番号）：WO1998-052279
出願日： 1997年05月12日
公開日（公表日）： 1998年11月19日
要約：
【要約】従来の弾性表面波装置と同等以上の電気特性を有し、かつ樹脂封止またはベアチップ実装を行っても信頼性が劣化せず、かつ超小型の弾性波装置を実現するため、圧電基板28上に2種類の膜29,30が成膜された三媒質構造の弾性境界波を励振する。櫛形電極14を形成した圧電基板上に多結晶酸化珪素膜29と多結晶珪素膜30を形成する。圧電基板には単結晶物質を用いる。多結晶酸化珪素膜と多結晶珪素膜はスパッタ法,CVD法,塗布法で成膜する。多結晶珪素膜を形成することにより、櫛形電極で励振される弾性波は多結晶酸化珪素膜に閉じこめることができ、かつ、弾性境界波装置の電気特性は、多結晶珪素膜の膜質が劣化しても従来の弾性表面波装置より優れた電気特性を示す。また、多結晶酸化珪素膜と多結晶珪素膜が櫛形電極を保護するため、高い信頼性を有することができる。
請求項（抜粋）：
媒質1と、上記媒質1と異なる材質からなる媒質2と、上記媒質1及び上記媒質2と異なる材質からなり、上記媒質1と上記媒質2の間に挟まれた媒質3、上記媒質1と上記媒質3の間に形成された電極とを有し、上記媒質1が圧電性を有する物質であることを特徴とする弾性波装置。
IPC (2件)：
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