X線発生装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-134488
公開番号（公開出願番号）：特開2003-332098
出願日： 2002年05月09日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：

【要約】【課題】 X線の線量を一定にすることが可能であって、かつ、拡大率の高いX線画像の取得が可能なX線発生装置を提供する。【解決手段】第一出射窓31でX線が出射される面よりも、ターゲット27で電子線が入射される面側に、ターゲット27から発生するX線の状態を監視するX線モニタ30を備える。これにより、ターゲット27から発生するX線の状態をリアルタイムに監視することができ、X線の状態を一定にすることが可能とされる。また、X線モニタ30を第一出射窓31でX線が出射される面よりも被検査物5側に設置する場合に比して、第一出射窓31から被検査物等へX線を照射する際にX線モニタ30が邪魔にならず、第一出射窓31と被検査物とを近接できる。

請求項（抜粋）：

電子銃から出射される電子線をターゲットに入射させ、前記ターゲットから発生するX線を第一出射窓を介して出射させるX線発生装置において、前記第一出射窓で前記X線が出射される面よりも、前記ターゲットで前記電子線が入射される面側に設置され、前記ターゲットから発生するX線の状態を監視するX線監視手段を備えることを特徴とする、X線発生装置。

IPC (5件)：

H05G 1/26 , G21K 5/00 , G21K 5/02 , H01J 35/18 , G01N 23/04

FI (6件)：

H05G 1/26 E , G21K 5/00 A , G21K 5/00 W , G21K 5/02 X , H01J 35/18 , G01N 23/04

Fターム (22件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001FA20 , 2G001HA13 , 2G001JA02 , 2G001JA20 , 2G001PA11 , 4C092AA01 , 4C092AB10 , 4C092AC08 , 4C092BD01 , 4C092BD12 , 4C092BD16 , 4C092BD20 , 4C092CC03 , 4C092CD02 , 4C092CD03 , 4C092CE01 , 4C092CF02 , 4C092CF42 , 4C092DD01

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平4-345796
特開昭59-037453
特開昭63-037598

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審査官引用 (10件)

特開平4-345796
特開平4-345796
特開昭59-037453

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