立体検査系および立体像生成装置、ならびにその操作方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-027323
公開番号（公開出願番号）：特開2004-004549
出願日： 2003年02月04日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】少なくとも1人の観察者に自由度を提供する立体検査系および立体像生成装置を提供する。【解決手段】物体8を結像するための立体検査系を提供する。それは、光軸5および結像すべき前記物体8または中間像を配置するための物体平面7をもつ対物レンズ装置3であって、物体平面7から立体角領域9に発せられる物体側ビーム束11を受け、それを像側ビーム束13に変換する対物レンズと、像側ビーム束13から少なくとも一組の部分ビーム束19、20を選択するための選択装置と、部分ビーム束19、20によって提供される像を生成するための物体像伝達装置51、52とを含む。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

物体、または物体から生成された中間像を結像するための立体検査系であって、前記立体検査系は、光軸および結像すべき前記物体または前記中間像を配置するための物体平面をもつ対物レンズ装置であって、前記物体平面から立体角領域に発せられる物体側ビーム束を受け、それを像側ビーム束に変換する対物レンズ装置と、前記像側ビーム束から少なくとも一組の部分ビーム束を選択するための選択装置と、前記少なくとも一組の部分ビーム束によって提供される像の表示を生成するための像伝達装置とを含み、前記選択装置は、前記少なくとも2つの部分ビーム束のうちの1つのビーム断面を前記像側ビーム束のビーム断面に対してずらすために設けられており、前記少なくとも1つの部分ビーム束のビーム断面を光軸の周りの円周方向内でずらすように前記選択装置を制御するためにコントローラが設けられている、立体検査系。

IPC (4件)：

G02B21/22 , G01B11/24 , G01B11/245 , G02B27/22

FI (4件)：

G02B21/22 , G02B27/22 , G01B11/24 K , G01B11/24 N

Fターム (32件)：

2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065CC16 , 2F065FF05 , 2F065FF67 , 2F065GG08 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ12 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL06 , 2F065LL11 , 2F065LL12 , 2F065LL13 , 2F065LL14 , 2F065LL30 , 2F065LL37 , 2F065LL46 , 2F065LL47 , 2F065LL59 , 2F065NN01 , 2F065NN11 , 2F065SS02 , 2F065SS13 , 2F065UU07 , 2H052AA13 , 2H052AB06 , 2H052AB17 , 2H052AB25 , 2H052AB27 , 2H052AF21

引用特許：

審査官引用 (2件)

立体観察装置および電子画像表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-293675 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開昭61-172111

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