特許
J-GLOBAL ID：200903066783353080
ねじりアクチュエータとその製作方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-231764
公開番号（公開出願番号）：特開平7-193292
出願日： 1994年09月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 小さな制御電圧で大きなねじれ角度を現し、簡単な製作工程で安価に製作できる簡単な構成の電気セラミックねじりアクチュエータ及びそのその製作方法。【構成】 多層構成を形成して配置されるモノリシック・ねじりアクチュエータ10であって、かつ、複数層20の間に少なくとも位置する複数の3電極と、外部からのアクセスが可能で、アクチュエータ10をその長手軸16のまわりでねじれを生じさせるよう複数の3電極に制御電圧を供給をする複数のヘッド接触30〜34とを具え、3電極が互いに平行に延在し、電気層20の縁部からはなれて終端し、前記複数の電極は長手軸16に沿って中断され、各群に関して接続する表面を具え、層20の縁部まで延在し、そこで、複数の隣接する層20が電極22に対して直交して単一方向に分極される時、中心線19,39に関して対角象限の第1の隣接電極が中央電極22に正の電位に、他の対角象限の電極が負になるヘッド接触を備えるねじりアクチュエータ。
請求項（抜粋）：
複数層の間にすくなくとも位置する複数の電極と、外部からのアクセスが可能で、アクチュエータをすくなくともその長手軸のまわりでねじれを生じさせるよう複数の電極に制御電圧を供給するべく作用する複数のヘッド接触とを具えた、多層構成を形成して配置されるモノリシックピエゾ・電気セラミックのねじりアクチュエータにおいて、複数の電極(22,23,24)が互いに平行に延在し、複数の平行なピエゾ・電気層(20)の縁部からはなれて終端し、前記複数の電極は長手軸(16)にそって中断され、複数の電極の各群に関して接続する表面を具え、それら表面は複数のピエゾ・電気層(20)の縁部まで延在し、そこでそれら表面は、複数の隣接する層(20)が電極(22)に対して直交して単一方向に分極される時、端面(18)の中心線(19,39)に関して第1および第4または第2および第3象限の第1の隣接電極が中央電極(22)の基準電圧に対して正の電位に、一方他の複数の電極が負の電位にあるような方法で横方向のヘッド接触(30〜34)を備えることを特徴とするねじりアクチュエータ。
IPC (3件)：
H01L 41/083
, H01L 41/22
, H02N 2/00
H01L 41/08 S
, H01L 41/22 Z
