特許
J-GLOBAL ID：200903066786642180
イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 健二 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-267106
公開番号（公開出願番号）：特開平10-112280
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】【課題】オリフィスの孔径を大きくしても真空度の低下を抑制して、分析部の感度を上げる。【解決手段】イオンガイド12が設けられる真空室が仕切板18およびインシュレータ20で第2、第3真空室11,19に分割される。第1、第2オリフィス7,10の孔径は従来に比し大きく設定される。第2オリフィス10を通過した多量のイオンは、イオンガイド12によってガイドされて第3真空室19内のイオンガイド12に導かれ、更にその出口から出射して、第3真空室19内の加速領域に導かれる。イオンガイド12の出口および加速領域での圧力が低いので、イオンは加速領域内でガス分子と衝突を起こし難くなり、したがって、多量のイオンがMS分析部17に導入されるので、MS分析部17の感度が向上する。
請求項（抜粋）：
大気中で試料のイオンを生成するとともに生成したイオンを、オリフィスを介して真空領域内に導入し、更に前記イオンを前記真空領域内に設けられたイオンガイドにより前記真空領域内に設けられた加速領域に導き、前記イオンをこの加速領域で加速して分析部に導入するようになっているイオン源において、前記真空領域が1枚以上の仕切板によって前記オリフィス側から前記加速領域まで段階的に圧力の低くなる複数の領域に分割されており、前記イオンガイドは該複数の領域にまたがって設けられていることを特徴とするイオン源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 49/10
, G01N 27/62 G
