特許

J-GLOBAL ID：200903066789008538

X線用多層膜ミラー、反射型X線マスクおよびX線用多層膜ミラーの製造方法

発明者： 押野 哲也 ,  村上 勝彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-334735
公開番号（公開出願番号）：特開平6-180399
出願日： 1992年12月15日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：

【要約】【目的】 反射型マスクと結像光学系との相対的配置関係の自由度を増加させる。【構成】 基板2上に形成され、X線領域の波長を有する光の屈折率と真空中の屈折率との差が小さい物質と大きい物質とを交互に積層してなる多層膜1を備えたX線用多層膜ミラーにおいて、多層膜1を構成する各層の界面4に対して多層膜1の表面3を所定角度φだけ傾斜して形成した。

請求項（抜粋）：

基板上に形成され、X線領域の波長を有する光の屈折率と真空中の屈折率との差が小さい物質からなる第一層と前記差が大きい物質からなる第二層とを交互に積層してなる多層膜を備えたX線用多層膜ミラーにおいて、前記多層膜を構成する各層の界面に対して前記多層膜の表面を所定角度だけ傾斜して形成したことを特徴とするX線用多層膜ミラー。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-111799
  
• 軟X線多層膜分光素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-227498   出願人：日本電信電話株式会社