特許
J-GLOBAL ID：200903066789158017
イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-335984
公開番号（公開出願番号）：特開2002-140997
出願日： 2000年11月02日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：
【要約】【課題】 フィラメントの消耗の局所化を防いで、フィラメントの長寿命化を図る。【解決手段】 このイオン源4aは、Z軸に沿ってイオンビーム18を引き出すものであり、フィラメント10には、X軸に沿って電位差が生じる方向にフィラメント電源20から直流のフィラメント電圧VF が印加される。プラズマ生成容器6内には、電磁石24から、Y軸に沿って磁界26が印加される。電磁石24は、X軸およびY軸を含む平面に沿って配置されたC形のコア28と、それのヨーク部32に巻かれたコイル34とを有している。そしてこの発明では、フィラメント10に、電磁石24のコイル34側を負極側にしてフィラメント電圧VFを印加するように構成した。
請求項（抜粋）：
互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸としたとき、プラズマ生成容器内で生成したプラズマからZ軸に沿ってイオンビームを引き出すイオン源であって、プラズマ生成容器内のY軸に沿う方向の一方側と他方側とに、電子を放出するフィラメントと当該電子を反射する反射電極とを相対向させて配置しており、当該フィラメントには、その加熱用に、X軸に沿って電位差が生じる方向に直流のフィラメント電圧が印加され、かつ前記プラズマ生成容器内には、その外部に設けられた電磁石から、Y軸に沿って磁界が印加される構成であり、しかも当該電磁石が、X軸およびY軸を含む平面に沿って配置されたC形のコアと、当該コアのヨーク部に巻かれたコイルとを有している構成のイオン源において、前記フィラメントに、前記電磁石のコイル側を負極側にして前記フィラメント電圧を印加するように構成したことを特徴とするイオン源。
IPC (3件)：
H01J 27/14
, B01J 19/08
, H01J 37/08
H01J 27/14
, B01J 19/08 E
, H01J 37/08
4G075AA42
, 4G075AA51
, 4G075CA39
, 4G075CA42
, 4G075CA47
, 4G075DA01
, 4G075EB41
, 5C030DD05
, 5C030DE02
, 5C030DE07
, 5C030DE10
