特許

J-GLOBAL ID：200903066790710572

圧電振動装置

発明者： 三宅 高志
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 宮▲崎▼主税
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2006326197
公開番号（公開出願番号）：WO2007-088696
出願日： 2006年12月28日
公開日（公表日）： 2007年08月09日
要約：

輪郭振動モードを利用しており、振動部の厚みによる共振特性等のばらつきが生じ難く、歩留りを高めることが可能な構造を有する圧電振動装置を提供する。 フィルム状または板状の圧電体としての圧電薄膜4の第1,第2の主面に第1,第2の電極5,6が積層されている圧電振動部3が支持部材の一部を構成している基板2からギャップDを隔てて浮かされた状態で配置されており、振動部3において、輪郭振動モードのうちの拡がり振動モードを利用して共振特性が得られている、圧電振動装置1。

請求項（抜粋）：

対向し合う第1,第2の主面を有するフィルム状の圧電体と、 前記圧電体の第1の主面に形成された第1の電極と、 前記圧電体の第2の主面に形成されており、第1の電極と圧電体を介して重なり合うように配置された第2の電極とを備え、 前記第1,第2の電極が前記圧電体を介して重なり合っている部分が圧電振動部を構成しており、 前記圧電振動部を支持している支持部材をさらに備え、 前記圧電振動部が、第1,第2の電極が圧電体を介して重なり合っている部分において、浮かされた状態となるように前記支持部材により支持されており、かつ前記圧電振動部の輪郭振動モードを利用することを特徴とする、圧電振動装置。

IPC (4件)：

H03H 9/17 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18

FI (5件)：

H03H9/17 F ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z

Fターム (14件)：

5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108DD03 ,  5J108DD09 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108FF02 ,  5J108HH03 ,  5J108HH05 ,  5J108KK01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 拡がり振動型圧電振動子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-340261   出願人：株式会社村田製作所