特許

J-GLOBAL ID：200903066793571271

均一性制御のための分割高周波電極装置および方法

発明者： フィッシャー, アンドレアス
出願人/特許権者： ラム リサーチ コーポレーション
代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-545761
公開番号（公開出願番号）：特表2007-523470
出願日： 2004年12月10日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：

プラズマ処理で使用するための分割高周波(RF)電極。この電極は、第1電極と、第1電極を取り囲む第2電極と、第1電極と第2電極の間に挿入された誘電材料とを含む。この誘電材料は、第1電極を第2電極から電気的に分離する。少なくとも1つの二重周波高周波電源が、第1周波数および第2周波数でRF電力を出力する。第1周波数と第2周波数は異なるので、少なくとも1つの高周波スイッチが、少なくとも1つの二重周波源から、第1電極、第2電極、または第1電極および第2電極に、少なくとも第1周波数または第2周波数を送る。

請求項（抜粋）：

プラズマ処理に使用するための分割高周波電極装置であって、 第1電極と、 前記第1電極を取り囲む第2電極と、 前記第1電極と前記第2電極の間に挿入され、前記第1電極を前記第2電極から電気的に分離する誘電材料と、 互いに異なる第1周波数および第2周波数で高周波電力を出力するように適合された少なくとも1つの二重周波高周波電源と、 前記少なくとも1つの二重周波高周波電源から、前記第1電極、前記第2電極、または前記第1電極および前記第2電極に対する、前記第1周波数または前記第2周波数の経路を少なくとも定めるように適合された、少なくとも1つの高周波スイッチとを備えることを特徴とする装置。

IPC (3件)：

H01L 21/306 ,  C23C 16/509 ,  H05H 1/46

FI (3件)：

H01L21/302 101B ,  C23C16/509 ,  H05H1/46 M

Fターム (9件)：

4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA03 ,  4K030KA30 ,  4K030LA15 ,  5F004AA01 ,  5F004BA04 ,  5F004BB18 ,  5F004BD04