2軸移動装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-266349
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344585
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【課題】真直度,剛性が高くて運動再現性などに優れた安価な2軸移動装置を提供する。【解決手段】X方向の可動体13とY方向の可動体20とを備えた2軸移動装置において、一方の可動体13を転がり案内軸受LGを介して基台10上に支持するとともに、他方の可動体20は静圧気体軸受22を介して基台10上に支持した。これにより可動体20上の荷重が可動体13に負荷されることがなくなり、可動体20が移動中に可動体13に偏荷重が加わることもないから、高真直度,高剛性,高再現性が得られる。可動体13と可動体20との対向面の間に上下方向の磁気吸引部を設けて、基台10をセラミックスにすることで、より高剛性が得られ、且つ焼付き防止、基台の経年変化や塑性変形による軸受運動精度低下の防止が可能になる。

請求項（抜粋）：

X方向の可動体とY方向の可動体とを備えた2軸移動装置において、一方の可動体を転がり案内軸受を介して基台上に支持するとともに、他方の可動体は静圧気体軸受を介して基台上に支持し、かつ一方の可動体と他方の可動体とを他の静圧気体軸受を介して連動可能に係合したことを特徴とする2軸移動装置。

IPC (5件)：

G12B 5/00 , B23Q 1/38 , B23Q 1/40 , B23Q 1/44 , H01L 21/68

FI (5件)：

G12B 5/00 T , H01L 21/68 K , B23Q 1/18 A , B23Q 1/26 D , B23Q 1/26 E

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