特許
J-GLOBAL ID：200903066798237248
表面変位計
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-053990
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102022
出願日： 1992年03月13日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：
【要約】【目的】 光学系を介して試料表面に投光されたレーザー光からの反射光を投光時の光軸を逆行させ、その途中で反射させてフォトトランジスタなどの受光素子に導くことで、測定中に角度エラーを発生しているか否かをリアルタイムに検出することのできる技術を提供することにある。【構成】 レーザーダイオード1でレーザー光を発生し、このレーザー光を入射光面にピンホール部材4の設けられたハーフミラー3及び集光レンズ5を介して試料7の表面に投光し、これによる反射光9の主光線を開口絞り6で絞って集光レンズ5に導き、さらにハーフミラー3で反射させてフォトトランジスタ10に導く。このフォトトランジスタ10に入光する光量が投光軸と試料7の間の角度が直角位置からずれるに従って減少することから角度エラーを判定する。
請求項（抜粋）：
レーザー光を発生する光源と、この光源からのレーザー光を直進させると共に試料表面からの反射光を所定方向へ反射させるミラーと、前記ミラーの入射光面に設けられるピンホール部材と、前記ミラーからのレーザー光を前記試料表面に集光する集光レンズと、前記ミラーの反射光路上で且つ前記集光レンズの焦点位置に配設される受光素子とを具備することを特徴とする表面変位計。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 11/30
, G02B 26/10 101
