特許
J-GLOBAL ID：200903066806141140
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-089550
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297256
出願日： 1994年04月27日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 洗浄後の基板への塵埃の付着と基板裏面中央部の汚染を顕著に軽減した基板搬送装置を提供する。【構成】 基板支持アーム3の支持体5a、5bには第1支持部51a、51bと第2支持部52a、52bとが形成されており、支持体5a、5bの間隔はアクチュエータ12により変更される。支持体5a、5bの間隔を変更することにより、洗浄前の半導体ウエハ4は第1支持部51a、51bにより、洗浄後の半導体ウエハ4は第2支持部52a、52bにより、それぞれその端縁を支持されて搬送される。
請求項（抜粋）：
基板を多段に収納する収納手段と、基板を洗浄する洗浄手段との間で基板を搬送する基板搬送装置であって、互いに対向して配置された一対の支持手段と、前記一対の支持手段の間隔を変更する間隔変更手段とよりなり、前記一対の支持手段のそれぞれには、支持手段の間隔に対応して洗浄前の基板の周縁を支持する第1支持部と洗浄後の基板の周縁を支持する第2支持部とが形成されていることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, G11B 7/26
, H01L 21/027
