特許
J-GLOBAL ID：200903066815166503
移動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-289777
公開番号（公開出願番号）：特開平11-126110
出願日： 1997年10月22日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【課題】移動対象物を所定方向に必要な量だけ正確に移動して高精度に位置決めすることが可能な移動装置を提供する。【解決手段】移動対象物6と、この移動対象物の中心軸Pに対して対称に配置され、移動対象物を平行移動自在に支持する板状バネ20,24と、移動対象物を移動させるためのX方向駆動用及びY方向駆動用アクチュエータ22,16とを備えており、板状バネは、夫々、移動対象物を移動した際に作用する曲げ力に対する剛性が小さく、且つ、移動対象物を移動した際に作用する圧縮力及び引っ張り力に対する剛性が大きくなっている。
請求項（抜粋）：
移動対象物と、この移動対象物に対する固定ベースと、前記移動対象物の中心軸に対して対称に配置され、前記移動対象物を平行移動自在に係合する弾性部材と、この弾性部材の一端が係合し、他端が前記固定ベースと係合する前記移動対象物を移動させるためのアクチュエータとを備えていることを特徴とする移動装置。
IPC (3件)：
G05D 3/00
, G02B 21/26
, H02N 2/00
G05D 3/00 G
, G05D 3/00 A
, G02B 21/26
, H02N 2/00 B
