特許
J-GLOBAL ID：200903066824745524
基板搬送用プレート
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油井 透 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-298536
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144758
出願日： 1996年11月11日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 搬送中のウェーハずれを防止し、正確、精密にウェーハを搬送することができるようにする。【解決手段】 プレート31の先端部32の幅方向両側にウェーハ9の円周部を支持するウェーハ支持部34、35を設ける。先端部32と反対側の基端部33の幅方向両側にウェーハ9の円周部を支持する2つのウェーハ支持部36、37を設ける。基端部33側の2つのウェーハ支持部36、37のプレート中央Oから見た広がり角度αは、先端部32側のウェーハ支持部34、35間のプレート中央Oの中心から見た広がり角度βより大きくする。ウェーハ9が回転方向にずれてもストッパ2に乗り上げないようにするために、先端部11のウェーハ支持部34、35はオリエンテーションフラット20を支持するのではなく、その外側のウェーハ9の円周部を支持するように、ウェーハ9の円周上に配置する。
請求項（抜粋）：
プレートの一端の幅方向両側に2つの基板支持部を、他端の幅方向両側に2つの基板支持部をそれぞれ設け、上記4つの基板支持部上に基板を支持して搬送する基板搬送用プレートにおいて、基板の中心位置が来るプレート中央から見て、上記プレートの一端に設けられた2つの基板支持部間の広がり角度よりも、プレートの他端に設けられた2つの基板支持部間の広がり角度を大きく設定したことを特徴とする基板搬送用プレート。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 F
