特許
J-GLOBAL ID：200903066835443767
異物検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
後呂 和男
, ▲高▼木 芳之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-126911
公開番号（公開出願番号）：特開2007-040972
出願日： 2006年04月28日
公開日（公表日）： 2007年02月15日
要約：
【課題】 装置の小型化が可能であって、検出精度が高い異物検出装置を提供することを目的とする。【解決手段】微小異物検出装置Sはレーザ光を出射可能な投光ユニット30、受光面41Aに撮像素子を行列状に配した受光部41を有する受光カメラ40、並びにコントローラ50から構成される。コントローラ50はCPU51、制御回路53、フレームメモリ55、RAM56、ROM57等より構成される。CPU50は、受光カメラ40の画像データを受け取ると、これをFFTしてパワースペクトル分布を得る。この処理を繰り返し行なって、パワースペクトル分布の時間的な推移を得る。ガラス基板上に異物がある場合には、画像データ中に回折縞が現れるから、パワースペクトル分布に変化が現れる。そのため、パワースペクトル分布の時間的な推移に基づいて異物を検出出来る。【選択図】 図10
請求項（抜粋）：
異物に照射された光の回折現象によって生ずる回折縞を利用して、対象物上の微小な異物を検出する異物検出装置であって、
前記対象物の両側において光軸が前記対象物の検出面に沿うように対向配置されるレーザ照射手段、並びに前記レーザ照射手段から照射された光を受光して画像データを出力する撮像手段からなる画像データ取得手段と、
前記レーザ照射手段の光軸と直交する直交方向に、前記画像データ取得手段或いは前記対象物の少なくともいずれか一方を移動させ、移動前後の画像データの変化に基づいて前記検出面上の異物の検出を行なう検出手段と、を備えたことを特徴とする異物検出装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2G051AA42
, 2G051AB01
, 2G051AC15
, 2G051BA10
, 2G051BB01
, 2G051CA04
, 2G051CB06
, 2G051EC04
出願人引用 (7件)
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異物検出装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-040999
出願人：松下電器産業株式会社
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特開昭50-153693
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特開昭57-080546
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審査官引用 (6件)
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特開昭50-153693
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特開昭57-080546
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特開平2-143139
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