特許
J-GLOBAL ID:200903066840699400

画像検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高矢 諭 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-155159
公開番号(公開出願番号):特開平6-168315
出願日: 1992年06月15日
公開日(公表日): 1994年06月14日
要約:
【要約】【目的】 濃度差が少ない欠陥等をも検出する。【構成】 画像階層化手段20は、画像周波数成分フィルタを有し、被検査画像の周波数成分の抽出により、複数の特性の異なる出力画像を得る。比較検査手段22は、複数の前記特性の異なる出力画像それぞれを、該出力画像それぞれに対応する前記基準画像から得られた比較画像と比較して検査結果を得る手段である。このように、被検査画像と基準画像との比較を、種々の特性の異なる出力画像の比較により行い、欠陥部分の濃度差が様々であったり大きさが様々であっても、該欠陥部分をより確実に検出する。
請求項(抜粋):
被検査画像と基準画像とを比較し、これら画像の違いを検出する画像検査装置において、画像周波数成分フィルタを有し、被検査画像の周波数成分の抽出により、複数の特性の異なる出力画像を得る画像階層化手段と、複数の前記特性の異なる出力画像それぞれを、該出力画像それぞれに対応する前記基準画像から得られた比較画像と比較して検査結果を得る比較検査手段とを備えたことを特徴とする画像検査装置。
IPC (4件):
G06F 15/62 410 ,  G06F 15/68 320 ,  G06F 15/68 400 ,  G07D 7/00

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