特許
J-GLOBAL ID：200903066843275865
研磨工具とその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-344247
公開番号（公開出願番号）：特開平6-179166
出願日： 1992年12月24日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 硬質炭素膜を成膜した工具の表面に、研磨中に発生する切り粉を排出する複数の溝を形成することにより、遊離砥粒を用いた研磨と同等、あるいはそれに近い研磨効果と、ワーク加工面のスクラッチ発生を抑制することを目的とする。【構成】 工具母材2表面にレジスト4を塗布後、マスクを用いてレジスト4を露光する。これにより工具母材2の表面にレジスト4がない0.2mmの幅の模様を形成する。ダイヤモンドスラリーが入っている容器に工具母材2を入れ、超音波をかけ、レジスト4がついていない部分の工具母材2の表面に傷入れを施した後、レジスト4を剥離、液を用いてマイクロ波プラズマCVD法で傷入れ処理部に硬質炭素膜1を形成した研磨工具5及びその製造方法。
請求項（抜粋）：
工具母材表面に硬質炭素膜を選択的に成膜し、前記硬質炭素膜間に硬質炭素の膜厚による複数の溝を形成してなる研磨工具。
IPC (4件)：
B24B 37/04
, B24D 3/00 330
, B24D 3/00 340
, B24D 7/00
