特許
J-GLOBAL ID:200903066857288684
交互吸着膜を用いた粒子センサ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
志村 浩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-077553
公開番号(公開出願番号):特開2000-275157
出願日: 1999年03月23日
公開日(公表日): 2000年10月06日
要約:
【要約】【課題】 応答時間が短く、高精度な検出が可能であり、しかも低コストな煙感知器を実現する。【解決手段】 水晶振動子の電極21上に、交互吸着膜40を形成する。交互吸着膜40は、コロイド状の煙粒子Sが侵入可能な空洞構造(多孔質構造)をなし、正の電荷をもったPAH膜(A1,A3,A5)と、負の電荷をもったPAA膜(B2,B4,B6)とを交互に積層した構造を有する。交互吸着膜40内に侵入した煙粒子Sは、PAH膜またはPAA膜によって吸着される。交互吸着膜40に粒子が吸着すると、交互吸着膜40全体の質量が変化するため、水晶振動子の振動周波数が変化する。この周波数シフトを測定することにより、吸着粒子の量を検出することができる。熱風源を用いて、交互吸着膜40に対して熱風を与えると、吸着粒子を離脱させ、センサを初期状態に回復できる。
請求項(抜粋):
検出対象となる粒子が侵入可能な空洞構造をなし、正の電荷をもった第1の帯電膜と、検出対象となる粒子が侵入可能な空洞構造をなし、負の電荷をもった第2の帯電膜と、を交互に吸着させてなる交互吸着膜を基材上に設けることによりセンサ本体部を構成し、このセンサ本体部の質量の変化に基づいて検出対象となる粒子の吸着量を検出することを特徴とする交互吸着膜を用いた粒子センサ。
IPC (3件):
G01N 5/02
, G01N 27/00
, G08B 17/10
FI (3件):
G01N 5/02 A
, G01N 27/00 K
, G08B 17/10 F
Fターム (17件):
2G060AA01
, 2G060AA20
, 2G060AB26
, 2G060AE40
, 2G060AF20
, 2G060AG03
, 2G060AG08
, 2G060BB04
, 2G060BC01
, 2G060HA01
, 2G060HE01
, 2G060KA01
, 5C085AA03
, 5C085AC03
, 5C085BA40
, 5C085FA06
, 5C085FA20
引用文献:
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