特許
J-GLOBAL ID:200903066863184653

光照射受光装置及び光照射受光方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 秋田 収喜 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-375625
公開番号(公開出願番号):特開2003-172612
出願日: 2001年12月10日
公開日(公表日): 2003年06月20日
要約:
【要約】【課題】 発光手段で発光した光を被計測物体に照射し、前記被計測物体からの反射光を受光して撮像する光照射受光装置において、オクルージョン領域をなくし、かつ、撮影範囲と照射範囲の調節を容易にするとともに、発光手段で発光した光のロスを低減する。【解決手段】 被計測物体に照射する光を発光する発光手段と、前記被計測物体で反射した光を受光して撮像する撮像手段と、前記被計測物体に照射する光の光軸と前記撮像手段で受光する光の光軸と一致させる光軸一致手段と、前記撮像手段で撮像する像の焦点を調節する焦点調節手段とを備える光照射受光装置であって、前記発光手段は、単色かつ直線偏光の光を発光する光源と、前記光源で発光した光の照射角を調節する照射角調節手段とを備え、前記光軸一致手段は、入射する光の偏光面の向きに応じて、光を反射あるいは透過させる偏光ビームスプリッタと、入射した光の偏光面を45度回転させるλ/4波長板とを備え、前記λ/4波長板は、前記偏光ビームスプリッタと前記被計測物体との間に配置されている光照射受光装置である。
請求項(抜粋):
被計測物体に照射する光を発光する発光手段と、前記被計測物体で反射した光を受光して撮像する撮像手段と、前記被計測物体に照射する光の光軸と前記撮像手段で受光する光の光軸とを一致させる光軸一致手段と、前記撮像手段で撮像する像の焦点を調節する焦点調節手段とを備える光照射受光装置であって、前記発光手段は、単色かつ直線偏光の光を発光する光源と、前記光源で発光した光の照射角を調節する照射角調節手段とを備え、前記光軸一致手段は、入射する光の偏光面の向きに応じて、光を反射あるいは透過させる偏光ビームスプリッタと、入射した光の偏光面を45度回転させるλ/4波長板とを備え、前記λ/4波長板は、前記偏光ビームスプリッタと前記被計測物体との間に配置されていることを特徴とする光照射受光装置。
IPC (2件):
G01B 11/24 ,  G02B 27/28
FI (3件):
G02B 27/28 Z ,  G01B 11/24 K ,  G01B 11/24 A
Fターム (33件):
2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD00 ,  2F065DD05 ,  2F065FF04 ,  2F065FF32 ,  2F065FF49 ,  2F065GG06 ,  2F065GG22 ,  2F065HH02 ,  2F065HH09 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL20 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065MM22 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065UU01 ,  2F065UU02 ,  2F065UU07 ,  2H099AA00 ,  2H099BA09 ,  2H099BA17 ,  2H099CA07
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 特開昭53-123004
  • 特開昭53-123004
  • 特開昭61-219884
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