特許
J-GLOBAL ID：200903066864829461
放電パネルの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平井 安雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-276458
公開番号（公開出願番号）：特開2000-090833
出願日： 1998年09月11日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：
【要約】【課題】 安定した取付けにより気密性を確実に得ることのできる真空ヘッドを用いて、放電空間の排気及び放電ガス充填を行うことにより、放電空間を所望の雰囲気にすることのできる放電パネルの製造方法を提供する。【解決手段】 圧力の調整を自由に行うことのできる水圧を利用して真空ヘッド1と通気管10との気密性を得た状態で放電空間の排気及び放電ガスの充填を行うため、確実且つ安定した気密状態であり、放電空間内を所望の雰囲気にすることができる。
請求項（抜粋）：
一対の基板間に微小ギャップの放電空間を有し、該放電空間内の排気を筒状の通気管を介して行なう放電パネルの製造方法において、前記通気管表面に接触するOリングと、該Oリングを前記通気管側に押圧する水圧を得るための循環路を備えてなる真空ヘッドにて、前記通気管と排気を行なう排気ポンプとを接続した後、前記一対の基板間の放電空間内の不純物を除去するための排気を行なうことを特徴とする放電パネルの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/385 A
, H01J 11/02 D
5C012PP03
, 5C012PP08
, 5C040HA05
, 5C040MA23
