特許

J-GLOBAL ID：200903066866453507

固体撮像装置およびその製造方法

発明者： 青木 徹郎
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-241030
公開番号（公開出願番号）：特開平7-099296
出願日： 1993年09月28日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：

【要約】【目的】 高感度かつ光の利用率の高い固体撮像装置およびその製造方法を提供する。【構成】 (A)光電変換部41の上に、絶縁膜42,転送電極43,遮光膜44,保護膜45,平坦化層51を形成し、平坦化層51上に凹レンズ層52を格子状パターンに形成する。(B)格子状の凹レンズ層52を熱溶融して、凹型マイクロレンズ52にする。(C)凹型レンズ52の上に、凹型レンズ52よりも屈折率が小さな樹脂層53とバッファー層54と凸型マイクロレンズ57を順に形成する。【効果】 凸型マイクロレンズ57が集光した光を、凹型マイクロレンズ52が、光電変換部41に対する垂直入射光に近づける。

請求項（抜粋）：

光電変換部を含む複数の画素を有し、上記光電変換部の上に凸型マイクロレンズが設けられた固体撮像装置において、上記光電変換部と上記凸型マイクロレンズとの間に形成され、上記凸型マイクロレンズを支持する支持層と、上記支持層の直下に連なり、少なくとも上記支持層を構成する材料よりも屈折率の高い材料で作製した凹型マイクロレンズ層とを備えたことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  G02B 27/00

FI (2件)：

H01L 27/14 D ,  G02B 27/00 J

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-199874
  
• 固体撮像装置とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-298135   出願人：三菱電機株式会社