特許
J-GLOBAL ID：200903066866821930
光導波路の加工方法、光導波路部品及び光ファイバグレーティング
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-054455
公開番号（公開出願番号）：特開2003-255157
出願日： 2002年02月28日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：
【要約】【課題】 光導波路を精度良く加工することが可能な光導波路の加工方法を提供する。【解決手段】 光を導波するコア7を有する透明体内部にフェムト秒パルスレーザを集光照射する際に発生する発光をモニタし、この発光がコア7の内部の伝搬方向に最大の光量で導波される位置において前記フェムト秒パルスレーザを集光照射して屈折率変化領域を形成する。発光の光量のモニタはCCDカメラ9、またはコア7の一端に接続された受光器により行う。
請求項（抜粋）：
光を導波するコアを有する透明体内部にフェムト秒パルスレーザを集光照射して、前記コアに屈折率変化領域を形成する光導波路の加工方法において、前記フェムト秒パルスレーザの集光照射によって前記透明体内部に発生する発光をモニタして、該発光が前記コア内部の伝搬方向に最大の光量で導波されるようにして集光照射位置を定め、この位置において前記フェムト秒パルスレーザを集光照射して屈折率変化領域を形成することを特徴とする光導波路の加工方法。
Fターム (3件)：
2H050AB04Z
, 2H050AC09
, 2H050AC82
