特許

J-GLOBAL ID：200903066867634424

スライスベース剥離装置

発明者： 中浦 健一
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-209378
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054462
出願日： 1997年08月04日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】種類の異なる複数のインゴットを切断機で多数枚同時に切断して得られたウェーハを各種類ごとにスライスベースから剥離することができるスライスベース剥離装置の提供。【解決手段】種類がWaとWbのウェーハの間に第1仕切板82を挿入し、種類がWbとWcのウェーハの間に第2仕切板84を挿入する。挿入後、吸着パッド52でウェーハの端面を吸着し、揺動させることによって一枚ずつウェーハをスライスベースから剥離する。このウェーハを一枚ずつスライスベースから剥離する工程で前記第1仕切板82と第2仕切板84の存在をセンサ86で検出することにより、それ以後に剥離するウェーハが種類の異なるウェーハであることを認識する。

請求項（抜粋）：

直列して配置された種類の異なる複数のインゴットを切断機で多数枚同時に切断して得られたウェーハを、そのウェーハが保持されているスライスベースから一枚ずつ剥離するスライスベース剥離装置において、熱水が貯留される熱水槽と、前記熱水槽内に設置され、剥離対象のウェーハが取り付けられる取付台と、前記ウェーハの一方側の端面を吸着保持する吸着パッドと、前記吸着パッドを前記取付台に沿って移動させる移動手段と、前記移動手段に設けられ、前記吸着パッドを揺動させる揺動手段と、種類の異なるウェーハの間に挿入される仕切板と、前記ウェーハ間に挿入された仕切板を検出するセンサと、からなることを特徴とするスライスベース剥離装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 311 ,  B28D 5/00

FI (2件)：

H01L 21/304 311 A ,  B28D 5/00