特許

J-GLOBAL ID：200903066869005971

3次元形状測定装置

発明者： 今井 義久 ,  蛭川 英男
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-303324
公開番号（公開出願番号）：特開平5-141933
出願日： 1991年11月19日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 高精度で信頼性の高い3次元形状測定装置を実現する。【構成】 2は測定対象7からの第1の反射光を再び測定対象7に入射させると共に、入射光の一部を透過させるためのハーフミラーである。13はハーフミラー2を透過した光が入射されその光の位置から測定対象7上の焦点位置での傾きを検出する位置検出素子である。入射光はハーフミラー2で一部が透過されるが、残りの光は反射され偏光ビームスプリッタ4→1/4波長板5→対物レンズ6を介して測定対象7に再び入射され反射される。反射光は対物レンズ6を介して1/4波長板5、偏光ビームスプリッタ4を順次透過する。偏光ビームスプリッタ4を透過した光は、ビームスプリッタ2で反射され光検出器9に入射され、参照ミラー3からの光と干渉されて、干渉縞の変化を測定され、測定対象7上の焦点の位置の変化を測定する。

請求項（抜粋）：

光ビームを測定対象面と基準面に照射し、これらの反射光の位相差から前記測定対象の形状を求める3次元形状測定装置において、レーザ光源と、このレーザ光源の出射光を2つに分岐する光学部品と、この光学部品で分岐された一方の光を前記測定対象に集光させるための対物レンズと、前記測定対象からの第1の反射光が前記対物レンズを介して入射される偏光ビームスプリッタおよび1/4波長板からなる光アイソレータと、この光アイソレータに入射された光を再び前記対物レンズを介して前記測定対象へ入射させると共に、入射光の一部を透過させるハーフミラーと、前記光学部品で分岐された他方の光を反射する参照ミラーと、この参照ミラーからの反射光と前記測定対象からの第2の反射光とを前記光学部品を介して干渉させ、その干渉縞から前記測定対象上の焦点位置の変化を検出する光検出器と、前記ハーフミラーを透過した光が入射され、その光の位置から前記測定対象上の焦点位置での傾きを検出する位置検出素子と、前記測定対象を光軸に対して垂直方向に移動させ、前記測定対象上の焦点位置に変位を与えるステージと、このステージからの変位出力と前記光検出器から出力される焦点位置変化と前記位置検出素子から出力される焦点位置での傾きから前記測定対象の形状を求めて表示する信号処理装置とを備えた構成としたことを特徴とする3次元形状測定装置。