特許
J-GLOBAL ID：200903066880041645
高出力電子ビームの操作方法
ベール マーチン
, ベール マーチン について
リュックス エリック
リュックス エリック について
出願人/特許権者：
バルサーズ ウントゥ レイボルト ドイチュラント ホールディング アクチーエンゲゼルシャフト
バルサーズ ウントゥ レイボルト ドイチュラント ホールディング アクチーエンゲゼルシャフト について
代理人 (1件)： 鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-295694
公開番号（公開出願番号）：特開平11-217667
出願日： 1998年10月16日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 目標中の物質の気化のための高出力電子ビームの操作方法に関し、走査、出力パターンの誤差を補償し電子ビームを自動的に偏向させる。【解決手段】 実際の空間座標についてのティーチインプロセスにより動的及び静的偏向誤差を確定し、偏向電流の実際の周波数をメモリに記憶し、電子ビームの入射点についての入力幾何学的データを、入力点上への正確な入射を生じさせるような補正後の電流値に自動的に再計算する。周波数依存性の減衰効果を排除するために、周波数及び振幅の観点から入力周波数を自動的に補正する。静的及び動的偏向誤差の補正において、適当な補間方法により、ティーチインプロセスにおいて考慮されなかった空間座標及び周波数を保証し、単にるつぼの表面上のパワー分布の指定により、指定されたデータを満足するように電子ビームを制御することが可能となる方法を指定する。
請求項（抜粋）：
るつぼなどの内部の物質の気化のために使用する高出力電子ビームの操作方法において、電子ビームのための偏向ユニットを設ける工程と、前記電子ビームを本質的に一定強度で気化すべき物質に向ける工程と、前記電子ビームを、気化すべき物質表面の種々の点に渡って、指定可能な速度で案内する工程と、気化すべき物質表面上の点の幾何学的座標を選択する工程と、前記選択された座標を、補正された偏向電流に変換し、対応する偏向ユニットに供給する工程と、を備えることを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
Copyright (c) 2009 Japan Science and Technology Agency. All Rights Reserved