特許

J-GLOBAL ID：200903066880831549

被検査物体の欠陥判定用カメラおよびこれを用いた欠陥判定装置

発明者： 山本 和義
出願人/特許権者： 株式会社テクニカルシステムズ ,  株式会社プレシジョン
代理人 (1件)： 木下 茂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-305210
公開番号（公開出願番号）：特開2000-131042
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】 製品上におけるより微細な欠陥についても精度よく検出することを可能とすること。【解決手段】 被検査物体としての海苔41には、波長の異なる投射光が当てられ、一次元走査カメラによる透過光の撮像出力として(ロ)および(ハ)に示す波形が得られる。(ロ)に示す信号波形は所定量増幅され、また(ハ)に示す信号はレベルシフトされて(ホ)に示すように両者が比較される。その比較結果として(ヘ)に示す異物42に対応するパルス状出力が得られ、この出力によって製品の良否が判定される。

請求項（抜粋）：

被検査物体の透過光または反射光を取り込む対物レンズと、前記対物レンズによって取り込まれた透過光または反射光を第1および第2の光波長域に応じて分光する分光手段と、前記分光手段によって分光された第1の光波長域の光量に応じた出力信号を生成する第1光電変換素子と、前記分光手段によって分光された第2の光波長域の光量に応じた出力信号を生成する第2光電変換素子とが具備され、前記被検査物体の同一被写体部分を、2つの異なる波長帯域による出力信号として同時に得るように構成した被検査物体の欠陥判定用カメラ。

IPC (4件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/84 ,  G01N 21/88 ,  G01N 21/89

FI (5件)：

G01B 11/30 E ,  G01B 11/30 Z ,  G01N 21/84 D ,  G01N 21/88 J ,  G01N 21/89 610 A

Fターム (34件)：

2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065BB01 ,  2F065BB15 ,  2F065CC02 ,  2F065DD04 ,  2F065FF41 ,  2F065FF46 ,  2F065GG23 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL20 ,  2F065LL22 ,  2F065MM03 ,  2F065NN13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ51 ,  2F065TT03 ,  2G051AA33 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CC11 ,  2G051CC15 ,  2G051CD04 ,  2G051DA06 ,  2G051EA23 ,  2G051EA27 ,  2G051EB01 ,  2G051EB10