特許
J-GLOBAL ID：200903066881129759
基板の重ね合わせ位置検査装置および液晶パネルの検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-016053
公開番号（公開出願番号）：特開平6-230334
出願日： 1993年02月03日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【構成】 帯状の各第1遮光部4を並設してなる主マーク2をマトリックス側基板1aに設ける。第1遮光部4と同幅の帯状の各第2遮光部4’を、上記上記1遮光部4と異なる間隔で並設してなる副マーク3を対向側基板1bに設ける。上記マトリックス側基板1aと対向側基板1bとを所定の位置関係となるように合わせた後、上記主マーク2あるいは副マーク3にほぼ垂直方向から光を照射し、その光の透過光の明暗を目視して、上記マトリックス側基板1aと対向側基板1bとの合わせ精度を検査する。【効果】 マトリックス側基板1aと対向側基板1bとの貼り合わせ精度を、目視にて検出できるから、検査方法を従来より迅速化および簡便化できる。
請求項（抜粋）：
光透過性を有する第1基板の所定位置に、所定幅の帯状の第1遮光部を、複数、所定間隔で相互に平行にそれぞれ有する第1検査部が設けられ、光透過性を有し、上記第1基板に対してほぼ平行な所定の位置関係に合わされる第2基板の上記所定位置に対向する位置に上記所定幅の帯状の第2遮光部を、複数、上記第1遮光部と平行に、かつ、上記所定間隔に所定長さを増やした、または減らした間隔となるようにそれぞれ有する第2検査部が設けられ、上記の所定の位置関係となるように合わせられた上記第1基板および第2基板における第1検査部もしくは第2検査部にほぼ垂直方向から光を照射する光源が設けられていることを特徴とする基板の重ね合わせ位置検査装置。
IPC (3件)：
G02F 1/13 101
, G01B 11/00
, G02F 1/1333 500
