特許

J-GLOBAL ID：200903066886913261

変位測定装置

発明者： 奈良 治 ,  岩本 正
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-209372
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063526
出願日： 1993年08月24日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】 測定作業の迅速化,生産の低コスト化が図れる変位測定装置の提供。【構成】 変位測定装置10は、測定面32に光33を投射する対物レンズ34を保持するホルダ48の本体49に対する位置をギャップセンサ13A,13Bで検出する位置検出手段11と、電源スイッチ14,リセットスイッチ15の投入による原点設定指令が与えられたとき、駆動手段36を駆動させ、位置検出手段11で検出した対物レンズ34の位置が予め設定した位置に一致したときカウンタ38をゼロにセットするゼロセット手段12とを有する。【効果】 インクリメンタル式の変位検出手段37に読取エラーが発生して原点が失われても、読取エラー以前の原点が再現できるため、測定を続行できる。

請求項（抜粋）：

測定面に光を投射する対物レンズを含み、その対物レンズの焦点位置から測定面までのずれに応じた信号を出力する変位センサと、この変位センサからの出力信号を基に前記対物レンズの焦点位置に測定面が合致するように前記対物レンズを前記測定面に追従移動させる駆動手段と、この駆動手段による前記対物レンズの移動量を検出するインクリメンタル式の変位検出手段と、この変位検出手段からの信号を計数するカウンタと、前記対物レンズの位置を検出する位置検出手段と、原点設定指令が与えられたとき、前記駆動手段を駆動させ、前記位置検出手段で検出された前記対物レンズの位置が予め設定された位置に一致したとき前記カウンタの値をゼロにセットするゼロセット手段とを有することを特徴とする変位測定装置。