特許

J-GLOBAL ID：200903066891026400

反射防止膜及び反射防止膜付き光学部品

発明者： 阿部 淳
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-198815
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043304
出願日： 1992年07月24日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】 膜層数が少なくても、広帯域の反射防止特性を有する反射防止膜及びこれを設けた光学部品を提供することを目的とする。【構成】 Mg,Si,O及びFからなる無機化合物で構成された膜とZi,Si及びOからなる無機化合物で構成された膜の少なくとも2個からなる反射防止膜。Mg,Si,O及びFからなる無機化合物で構成された膜において、各元素の原子比の範囲が、F/Mg=(1.3/1)〜(3.2/1)O/Mg=(0.4/1)〜(1.4/1)Si/Mg=(0.1/1)〜(0.6/1)である。

請求項（抜粋）：

Mg,Si,O及びFからなる無機化合物で構成された膜と、Zi,Si及びOからなる無機化合物で構成された膜の少なくとも2層からなる反射防止膜。