特許

J-GLOBAL ID：200903066894568646

超微粒子の調製方法

発明者： 竹井 弘之
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-148935
公開番号（公開出願番号）：特開平11-001703
出願日： 1997年06月06日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】任意の金属,合金,半導体の微粒子を簡便に製造する。【解決手段】ポリスチレン球など微小球の半面に真空蒸着することにより、球表面に微粒子を形成する。

請求項（抜粋）：

平坦な基板上に、粒径が高精度で揃った超微小球を重ならない様に分散させ、超微小球の上に金属および/または半導体を蒸着することにより、球の上に金属、および半導体の超微粒子を形成することを特徴とする超微粒子の調製方法。

IPC (6件)：

B22F 1/02 ,  B01J 19/00 ,  B22F 9/02 ,  C23C 14/00 ,  G01N 1/28 ,  H01L 21/02

FI (6件)：

B22F 1/02 Z ,  B01J 19/00 N ,  B22F 9/02 A ,  C23C 14/00 A ,  H01L 21/02 Z ,  G01N 1/28 T