特許

J-GLOBAL ID：200903066895908394

ポジ型感光性ポリイミド樹脂組成物

発明者： 畑中 真 ,  中山 寛晴 ,  仁平 貴康
出願人/特許権者： 日産化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-304767
公開番号（公開出願番号）：特開2002-116541
出願日： 2000年10月04日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 アルカリ水溶液現像可能かつ感度、現像性に優れ、表面撥水特性を改良した新規なポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 ジアミンを構成する2価の有機基の1〜100モル%がフェノール性水酸基、カルボキシル基、チオフェノール基、スルホン基の少なくとも一種以上の基を1個または複数個有し、還元粘度が0.05〜5.0dl/g(温度30°CのN-メチルピロリドン中、濃度0.5g/dl)である溶媒可溶性ポリイミドと、感光性オルトキノンジアジド化合物と、ジアミンを構成する2価の有機基の1〜100モル%が炭素数6以上の長鎖アルキルもしくは含フッ素アルキル基の少なくとも一種以上の基を1個または複数個有し、還元粘度が0.05〜5.0dl/gである溶媒可溶性ポリイミドまたはポリアミック酸とを含有するポジ型感光性ポリイミド樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

〔a〕下記式(1)【化1】(R1はテトラカルボン酸およびその誘導体を構成する4価の有機基であり、R2はジアミンを構成する2価の有機基であり、かつR2の1〜100モル%がフェノール性水酸基、カルボキシル基、チオフェノール基、スルホン基からなる群より選ばれた少なくとも一種以上の基を1個または複数個有し、Kは整数である。)で表される繰り返し単位を含有し、還元粘度が0.05〜5.0dl/g(温度30°CのN-メチルピロリドン中、濃度0.5g/dl)である溶媒可溶性ポリイミドと、〔b〕感光性オルトキノンジアジド化合物と、〔c1〕下記式(2)【化2】(R3はテトラカルボン酸およびその誘導体を構成する4価の有機基であり、R4はジアミンを構成する2価の有機基であり、かつR4の1〜100モル%が炭素数6以上の長鎖アルキル基もしくは含フッ素アルキル基からなる群より選ばれた少なくとも一種以上の基を1個または複数個有し、lは整数である。)で表される繰り返し単位を含有し、還元粘度が0.05〜5.0dl/g(温度30°CのN-メチルピロリドン中、濃度0.5g/dl)である溶媒可溶性ポリイミドまたは、〔c2〕下記式(3)【化3】(R5はテトラカルボン酸およびその誘導体を構成する4価の有機基であり、R6はジアミンを構成する2価の有機基であり、かつR6の1〜100モル%が炭素数6以上の長鎖アルキル基もしくは含フッ素アルキル基からなる群より選ばれた少なくとも一種以上の基を1個または複数個有し、mは整数である。)で表される繰り返し単位を含有し、還元粘度が0.05〜5.0dl/g(温度30°CのN-メチルピロリドン中、濃度0.5g/dl)であるポリアミック酸とを含有し、成分〔c1〕または成分〔c2〕が全ポリマー重量に対して0.1〜50重量%であることを特徴とするポジ型感光性ポリイミド樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/022

FI (4件)：

G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 ,  C08L 79/08 Z ,  G03F 7/022

Fターム (46件)：

2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AB14 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB41 ,  2H025CB42 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CB52 ,  2H025CB57 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J002CM041 ,  4J002CM042 ,  4J002EQ036 ,  4J002GP03 ,  4J043PA02 ,  4J043PA19 ,  4J043PC065 ,  4J043PC066 ,  4J043PC185 ,  4J043PC186 ,  4J043QB31 ,  4J043RA05 ,  4J043RA34 ,  4J043SA54 ,  4J043SA62 ,  4J043SA71 ,  4J043SA81 ,  4J043SA82 ,  4J043SA83 ,  4J043SB01 ,  4J043TA14 ,  4J043TB01 ,  4J043UA022 ,  4J043UA121 ,  4J043UA262 ,  4J043VA021 ,  4J043XA19 ,  4J043YA25 ,  4J043ZA23 ,  4J043ZB22

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平4-284455
  
• 特開平3-209478
  
• ポジ型感光性ポリイミド樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-364293   出願人：日産化学工業株式会社
• 特開平2-000639
  

審査官引用 (4件)

• 特開平4-284455
  
• 特開平3-209478
  
• ポジ型感光性ポリイミド樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-364293   出願人：日産化学工業株式会社
• 特開平2-000639