特許
J-GLOBAL ID：200903066902511420
エッチング液
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤井 紘一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-316613
公開番号（公開出願番号）：特開平11-140669
出願日： 1997年11月04日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：
【要約】【課題】 液の茶色への変色、黒色物質の沈殿、難溶性物質の生成等を生じることなく過酸化水素等の自然分解を抑制できるエッチング液を提供する。【解決手段】 主剤として硫酸等のオキソ酸と過酸化水素からなるエッチング液、あるいは、上記主剤に助剤としてベンゾトリアゾール等のベンゼン環を有する複素環式化合物と塩化カリウム等のハロゲン化物を含むエッチング液に、安定剤としてメタンスルフォン酸等のアルカンスルフォン酸、エタノールスルフォン酸等のアルカノールスルフォン酸または乳酸等のヒドロキシ酸の少なくとも1種を用い、これら主剤、助剤および安定剤を配合してエッチング液を構成した。
請求項（抜粋）：
過酸化物群から選ばれた過酸化物若しくはその誘導体、および、下記の化学式1で表されるオキソ酸群から選ばれた酸若しくはその誘導体を有する主剤と、アルカンスルフォン酸群、アルカノールスルフォン酸群、ヒドロキシ酸群から選ばれた酸若しくはその塩類を有する安定剤と、を含むことを特徴とするエッチング液。【化1】
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
