可動ステージ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-142374
公開番号（公開出願番号）：特開平8-314517
出願日： 1995年05月18日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】可動ステージの位置、姿勢によらず、適切な非干渉化指令を発生させ、他の軸に発生する変位を十分に除去し、位置決め時間の短縮、姿勢変動の低減を図る。【構成】 2つ以上の駆動軸に沿って移動可能な可動ステージ1と、この可動ステージ1を各駆動軸に沿って駆動する駆動手段と、位置または速度を所定の目標値に一致させるべく駆動手段に指令を与える補償器2X,2Y,2θと、ある駆動軸について可動ステージ1を駆動した際に他の駆動軸について発生する可動ステージの変位を打ち消す指令を、発生させる非干渉化手段3と、補償器が発生した指令値と非干渉化手段3が発生した指令値を加算し、駆動手段に出力する加算手段5とを有する可動ステージ装置において、非干渉化手段3の指令値を駆動ステージの位置または姿勢によって補正する補正手段4を有する可動ステージ装置。

請求項（抜粋）：

少なくとも2つ以上の駆動軸に沿って移動可能な可動ステージと、この可動ステージを各駆動軸に沿って駆動する駆動手段と、前記可動ステージの各駆動軸についての位置または速度を検出する検出手段と、各駆動軸について前記検出手段により検出された位置または速度を所定の目標値に一致させるべく前記駆動手段に指令を与える補償器と、ある駆動軸について前記可動ステージを駆動した際に他の駆動軸について発生する前記可動ステージの変位を打ち消す指令を、前記ある駆動軸の前記補償器が発生した指令に基づいて発生させる非干渉化手段と、前記他の駆動軸についての補償器が発生した指令値と前記非干渉化手段が発生した指令値を加算し、前記駆動手段に出力する加算手段とを有する可動ステージ装置において、前記非干渉化手段の指令値を前記駆動ステージの位置または姿勢によって補正する補正手段を有することを特徴とする可動ステージ装置。

IPC (7件)：

G05B 19/18 , B23Q 1/62 , B23Q 15/22 , G05B 19/19 , G05D 3/00 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (8件)：

G05B 19/18 C , B23Q 15/22 , G05B 19/19 F , G05D 3/00 A , H01L 21/68 K , H01L 21/68 F , H01L 21/30 503 A , B23Q 1/18 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-243247
特開平4-186611
特開平4-140691

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