特許
J-GLOBAL ID：200903066903190368
画像露光装置における欠陥画素の特定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-139900
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142531
出願日： 1997年05月29日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 ミラーアレイデバイスを用いた画像露光装置において、故障してオン状態に固定された故障ミラー(欠陥画素)を特定する。【解決手段】 ミラーアレイデバイス13を構成する多数の微小ミラー20の全てを初期的にオフ方向に向けるための画像信号Sを制御回路30に入力し、その状態でオン方向における初期光量を検出し、その後、微小ミラー20を1つずつ交代で順次オフ状態にするための走査信号Sを制御回路30に入力し、微小微小ミラー20を順次交代でオン状態にし、オン方向において光検出器41が検出する光量が初期光量に対して変化しないときは、オン状態に指定された微小ミラーを故障ミラー(欠陥画素)として特定する。
請求項（抜粋）：
感光材料を露光させる記録光を発する光源と、前記記録光を受ける位置において2次元アレイ状に配置された複数の微小ミラー、および受けた記録光を各微小ミラー毎に感光材料上の対応する位置に向けて反射させる第1の方向と該感光材料に入射しないように反射させる第2の方向とのいずれかの方向に、前記微小ミラーの向きを各々独立に変えさせる駆動部とを有するミラーアレイデバイスと、画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路と、前記ミラーアレイデバイスで反射して感光材料に向かう記録光を集光する結像レンズとからなる画像露光装置における欠陥画素の特定方法であって、(1) 前記ミラーアレイデバイスを構成する全ての微小ミラーを前記第2の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、その状態で前記第1の方向に反射される記録光の光量を初期光量として検出し、(2) その後に、前記微小ミラーのうちの所定の1つだけを前記第1の方向に向けさせるような画像信号を前記制御回路に入力し、このときの前記第1の方向に反射される記録光の光量を検出し、(3) 前記第1の方向に向けさせる微小ミラーを順次交代させて前記(2) の操作を繰り返し、(4) 前記(2) の操作で検出された光量が、前記初期光量に対して略同一の値を示したときに、該(2) の操作の対象となった微小ミラーを前記欠陥画素として特定することを特徴とする画像露光装置における欠陥画素の特定方法。
IPC (3件)：
G02B 26/08
, B41J 2/44
, G01M 11/00
G02B 26/08 E
, G01M 11/00 T
, B41J 3/00 D
