特許
J-GLOBAL ID:200903066907848511

感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-377679
公開番号(公開出願番号):特開2005-141011
出願日: 2003年11月07日
公開日(公表日): 2005年06月02日
要約:
【課題】 露光時の感度とアルカリ現像性を両立させることができ、さらに、耐熱性に優れつつも脆さの発現しない硬化物を与える感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 アルカリ現像可能な塗膜を形成し得る感光性樹脂組成物であって、N-置換マレイミド成分(A)と、ヒドロキシル基含有単量体(B)とを必須成分としてラジカル重合させて得られた重合体(I)の有するヒドロキシル基の一部または全部に対し、多塩基酸無水物(C)を反応させて得られたカルボキシル基を有する変性重合体(II)が含まれている感光性樹脂組成物である。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
アルカリ現像可能な塗膜を形成し得る感光性樹脂組成物であって、N-置換マレイミド成分(A)と、ヒドロキシル基含有単量体(B)とを必須成分としてラジカル重合させて得られた重合体(I)の有するヒドロキシル基の少なくとも一部に対し、多塩基酸無水物(C)を反応させて得られたカルボキシル基を有する変性重合体(II)が含まれていることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F7/033 ,  C08F8/00 ,  G03F7/038
FI (3件):
G03F7/033 ,  C08F8/00 ,  G03F7/038 501
Fターム (42件):
2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC53 ,  2H025BC54 ,  2H025BC74 ,  2H025BC85 ,  2H025BC86 ,  2H025BD23 ,  2H025CA00 ,  2H025CB10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4J100AB07Q ,  4J100AD03Q ,  4J100AE10Q ,  4J100AL09Q ,  4J100AM21Q ,  4J100AM47P ,  4J100AM48P ,  4J100AM49P ,  4J100BA03H ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA05P ,  4J100BA15H ,  4J100BA16H ,  4J100BB01P ,  4J100BB03P ,  4J100BC04P ,  4J100CA04 ,  4J100DA22 ,  4J100HA11 ,  4J100JA37
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (5件)
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