特許

J-GLOBAL ID：200903066922398840

光学素子

発明者： 板橋 聖一
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-078535
公開番号（公開出願番号）：特開平5-241001
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、膜表面の凹凸を原子の大きさあるいはそれ以下のオーダーに抑え、反射特性等の良好な光学素子を提供することを目的とする。【構成】 基板1上に、X線等の電磁波を反射、あるいは透過、あるいは吸収する膜2を形成した光学素子において、エネルギーが10から500eVの粒子4を、1013個/sec./cm2以上、照射しながら、該膜を形成したことを特徴とする。また、前記粒子を、基板に垂直な方向から20度から80度傾けて照射すること特徴とする。

請求項（抜粋）：

【請求項l】 基板上に、X線等の電磁波を反射、あるいは透過、あるいは吸収する膜を形成した光学素子において、エネルギーが10から500eVの粒子を、1013個/sec./cm2以上、照射しながら、該膜を形成したことを特徴とする光学素子。

IPC (3件)：

G02B 1/10 ,  G01J 1/04 ,  H01S 3/08