特許

J-GLOBAL ID：200903066926542016

基板表面の乾燥方法

発明者： 岡野 勝一
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー
代理人 (1件)： 薬師 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-131662
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308377
出願日： 1997年05月07日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】【課題】 極めて簡単な方法で乾燥時間を大幅に短縮することのできるマランゴニ効果を利用した基板表面の乾燥方法を提供する。【解決手段】 洗浄槽1の下底部に、排水用開閉バルブ18,19を備えた二つの排液管16,17を立設し、排液管16は先端開口部20が洗浄槽内に置かれた基板3の下端縁L1 よりも下側に、また、排液管17は先端開口部21が洗浄槽内に置かれた基板の下端縁L1 よりも上側に位置するように配置し、排水用開閉バルブ18はその排水量を基板3の下端に液溜まりが発生しない液面降下速度以下に設定するとともに、第1および二つの排水用開閉バルブ18,19の合算排水量を基板3の下端に液溜まりが発生しない液面降下速度以上で、かつ、マランゴニ効果の発現する液面降下速度の上限値以下となるように設定し、二つの排水用バルブ18,19を同時に開いて洗浄槽内1の洗浄液2を排水する。

請求項（抜粋）：

洗浄液槽内の洗浄液中に乾燥処理すべき基板を浸漬するとともに、この洗浄槽の液面上部空間に、洗浄液に対して親水性で、かつ、洗浄液に混和されることによって洗浄液の表面張力を小さくするような性質を有するガスを送給しながら、前記洗浄槽の洗浄液を所定の速度で排出していくことにより、基板表面を乾燥するようにした乾燥方法において、前記洗浄槽の下底部に、第1の排水用開閉バルブを備えた第1の排液管と第2の排水用開閉バルブを備えた第2の排液管を立設し、第1の排液管はその先端開口部が前記洗浄槽内に置かれた基板の下端縁よりも下側に位置するように配置するとともに、第2の排液管はその先端開口部が前記洗浄槽内に置かれた前記基板の下端縁よりも上側に位置するように配置し、前記第1の排水用開閉バルブはその排水量を前記基板の下端に液溜まりが発生しない液面降下速度以下に設定するとともに、前記第1および第2の二つの排水用開閉バルブの合算排水量を前記基板の下端に液溜まりが発生しない液面降下速度以上で、かつ、マランゴニ効果の発現する液面降下速度の上限値以下となるように設定し、前記第1および第2の二つの排水用開閉バルブを同時に開いて前記第1および第2の二つの排液管によって前記洗浄槽内の洗浄液を排水するようにしたことを特徴とする基板表面の乾燥方法。

IPC (3件)：

H01L 21/304 351 ,  B08B 3/00 ,  F26B 5/00

FI (3件)：

H01L 21/304 351 S ,  B08B 3/00 ,  F26B 5/00