統合されたポンプ・パージの付いたモジュール式流体フロー・システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-513080
公開番号（公開出願番号）：特表2001-517767
出願日： 1998年09月18日
公開日（公表日）： 2001年10月09日
要約：

【要約】モジュール方式、モノリシック方式のポンプ・パージ・システムは、モジュール方式、モノリシック方式のマニホールド(206)上に設置された複数のバルブ(212a、212b、220、223)を備えており、モジュール方式、モノリシック方式のマニホールド(206)はモジュール方式、モノリシック方式の流体操作システムに取り付け可能である。導管内の真空引きのため、あるいは導管内に洗浄用流体を輸送するために必要な流体輸送導管の、少なくとも一部、好ましくは全部が流体操作システムのモノリシック式マニホールド内にある。システムを構成するガス取り扱いフロー・ラインはガス取り扱い要素の個別のスティック(203、205)からなっている。

請求項（抜粋）：

モノリシック式・ポンプ・パージ・マニホールドを含む統合された流体操作システムであって、モノリシック式マニホールド上に設置された複数のバルブを含むモノリシック式・ポンプ・パージ・マニホールドを備え、前記モノリシック式マニホールドは内部流体輸送導管を含み、その内部流体輸送導管は前記複数のバルブと連携し、かつ前記ポンプ・パージ・マニホールドが取り付けられた流体操作システム内の流体輸送導管と組み合わされて働いて、前記流体操作システムに、統合されたポンプ・パージ能力を提供する、統合された流体操作システム。

IPC (2件)：

F16K 11/10 , F16K 27/00

FI (2件)：

F16K 11/10 Z , F16K 27/00 B

Fターム (27件)：

3H051AA01 , 3H051BB02 , 3H051BB03 , 3H051BB10 , 3H051CC01 , 3H051EE05 , 3H051FF01 , 3H051FF09 , 3H051FF14 , 3H051FF15 , 3H067AA01 , 3H067AA31 , 3H067BB08 , 3H067BB14 , 3H067CC32 , 3H067CC33 , 3H067CC35 , 3H067DD07 , 3H067DD14 , 3H067DD32 , 3H067EC01 , 3H067EC17 , 3H067EC23 , 3H067FF01 , 3H067FF11 , 3H067GG02 , 3H067GG21

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