特許
J-GLOBAL ID：200903066936444586
表面処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-305876
公開番号（公開出願番号）：特開平7-132554
出願日： 1993年11月11日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【構成】 所用のガス存在下において、大気圧又はその近傍の圧力中で印加電極と接地電極との間に電圧を印加してグロープラズマを発生させ、被処理物表面を大気圧プラズマ法により処理する表面処理方法において、被処理物を上記電極間の放電部分と離間した位置に配置することを特徴とする表面処理方法を提供する。【効果】 本発明によれば、被処理物の形状や大きさに制約が少なく、大気圧グロープラズマを用いて各種材料の表面処理を効率よく行うことができる。また、被処理物を電極から十分に離した状態でも表面処理することができるので、放電装置の設計、処理条件などの自由度が大きいという利点がある。
請求項（抜粋）：
所用のガス存在下において大気圧又はその近傍の圧力中で印加電極と接地電極との間に電圧を印加してグロープラズマを発生させ、被処理物表面を大気圧プラズマ法により処理する表面処理方法において、被処理物を上記両電極間の放電部分と10mm以上離間した位置に配置することを特徴とする表面処理方法。
IPC (3件)：
B29C 59/14
, B29K 21:00
, B29K105:24
