特許
J-GLOBAL ID：200903066937674763
高さ測定方法及び共焦点走査型光学顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-223331
公開番号（公開出願番号）：特開平9-068413
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：
【要約】【課題】光検出器の出力が最大となる相対位置を推定することにより、顕微鏡システムを変更して高さ方向の移動ステップを小さくすることなく表面形状の測定再現性を改善すること。【解決手段】光源18からの出射光を光学顕微鏡16の対物レンズ32を通して試料36に入射し、前記対物レンズ32の集束位置と前記試料36との相対位置を光軸方向となるZ方向に離散的に変化させ、各相対位置での前記試料36からの光強度をそれぞれ検出し、最大の光強度検出値を含む複数の光強度検出値に基づいて当該光強度が示す変化曲線上の最大値を推定し、その推定した最大値を高さ情報とする。
請求項（抜粋）：
光源からの光を光学顕微鏡の対物レンズを通して試料に入射し、前記対物レンズの集束位置と前記試料との相対位置を光軸方向となるZ方向に離散的に変化させ、各相対位置での前記試料からの光強度をそれぞれ検出し、最大の光強度検出値を含む複数の光強度検出値に基づいて当該光強度が示す変化曲線上の最大値を与える前記相対位値を推定し、その推定した相対位値を高さ情報として取得する高さ測定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/02
, G01B 9/04
, G02B 21/00
G01B 11/02 Z
, G01B 9/04
, G02B 21/00
