特許

J-GLOBAL ID：200903066941006295

紫外および真空紫外透過性重合体組成物およびそれらの使用

発明者： ウエランド,ロバート・クレイトン ,  フレンチ,ロジヤー・ハークエイル ,  ズムステグ,フレドリク・クラウス,ジユニア
出願人/特許権者： イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
代理人 (1件)： 小田島 平吉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-539074
公開番号（公開出願番号）：特表2003-514955
出願日： 2000年11月16日
公開日（公表日）： 2003年04月22日
要約：

【要約】187から260ナノメートルの波長の所の紫外線を実質的に透過する部分フッ素置換および完全フッ素置換重合体を開示する。

請求項（抜粋）：

187-260nmの波長の所に≦1の吸光度/ミクロン(A/ミクロメートル)を示す紫外透過性材料であって、CX2=CY2[ここで、Xは-Fまたは-CF3でありそしてYはHである]と0から25モル%の1種以上の単量体CRaRb=CRcRd{ここで、Ra、RbおよびRcは、各々独立して、HまたはFから選択され、そしてRdは、-F、-CF3、-ORf[ここで、RfはCnF2n+1(ここで、n=1から3)である]、-OH(Rc=Hの時)およびCl(Ra、RbおよびRc=Fの時)から成る群から選択される}から作られていてこの場合には前記CRaRb=CRcRdがほぼランダムな様式で共重合体の中に入り込んでいるか或はそれと40から60モル%の1種以上の単量体CRaRb=CRcRdから作られていてこの場合には前記CRaRb=CRcRdがほぼ交互様式で共重合体の中に入り込んでいる非晶質ビニル共重合体を含んで成る紫外透過性材料。

IPC (5件)：

C08F214/18 ,  C08F224/00 ,  C08F234/02 ,  G03F 7/032 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

C08F214/18 ,  C08F224/00 ,  C08F234/02 ,  G03F 7/032 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (42件)：

2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025CB08 ,  2H025CB41 ,  4J100AC21P ,  4J100AC21Q ,  4J100AC23P ,  4J100AC23Q ,  4J100AC24P ,  4J100AC24Q ,  4J100AC29P ,  4J100AC29Q ,  4J100AC30P ,  4J100AC30Q ,  4J100AC31P ,  4J100AC31Q ,  4J100AR32P ,  4J100AR32Q ,  4J100AU28P ,  4J100AU28Q ,  4J100BB07H ,  4J100BB07P ,  4J100BB18H ,  4J100BB18P ,  4J100CA04 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100DA24 ,  4J100DA25 ,  4J100DA62 ,  4J100DA65 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38 ,  4J100JA43 ,  4J100JA46