特許
J-GLOBAL ID：200903066945717480
トラップ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-019682
公開番号（公開出願番号）：特開平10-196532
出願日： 1997年01月17日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【目的】 作業性の良いトラップ装置を提供して、真空ポンプや排ガス処理装置の保護及び長寿命化と、運転の信頼性の向上、設備や運転コストの低減を図るとともに、排ガス中の物質を個別に抽出して、再利用までの工程を短縮することができるトラップ装置を提供する。【構成】 気密チャンバ10を真空ポンプ12により排気する排気経路14において排気中の固化成分をトラップするトラップ部18と、該トラップ部に付着した成分を除去するために前記排気経路に隣接して設けられた再生経路16と、前記トラップ部を前記排気経路と前記再生経路に切り替える切替手段30とを有し、該再生経路には、トラップ部の付着物に含まれる複数の成分を分離して各成分ごとに排出する複数の排出経路23a,23b,23c,23dが設けられている。
請求項（抜粋）：
気密チャンバを真空ポンプにより排気する排気経路において排気中の固化成分をトラップするトラップ部と、該トラップ部に付着した成分を除去するために前記排気経路に隣接して設けられた再生経路と、前記トラップ部を前記排気経路と前記再生経路に切り替える切替手段とを有し、該再生経路には、トラップ部の付着物に含まれる複数の成分を分離して各成分ごとに排出する複数の排出経路が設けられていることを特徴とするトラップ装置。
IPC (5件)：
F04B 37/16
, B01D 8/00
, F04B 39/16
, F04C 25/02
, H01L 21/02
F04B 37/16 C
, F04B 37/16 E
, B01D 8/00
, F04B 39/16 C
, F04C 25/02 B
, H01L 21/02
