特許

J-GLOBAL ID：200903066949874628

研磨パッド及び研磨装置

発明者： 石川 彰
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-217766
公開番号（公開出願番号）：特開平11-058218
出願日： 1997年08月12日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ウエハを良好に研磨できる特に大口径のウエハを良好に研磨できる、研磨パッド及び研磨装置を提供する。【解決手段】少なくとも、定盤12と、該定盤上に設けられた被研磨物15の表面を研磨する研磨パッド13とを備えた研磨装置において、前記研磨パッド13に形成された複数の研磨液供給用貫通孔13a〜13d及び研磨液排出用貫通孔13a′〜13d′と、前記各研磨液供給用貫通孔に通じる研磨液供給管16を有する研磨液供給機構と、前記各研磨液排出用貫通孔に通じる研磨液排出管17を有する研磨液排出機構と、を備えた研磨装置。

請求項（抜粋）：

複数の研磨液供給用貫通孔と複数の研磨液排出用貫通孔とが設けられた研磨パッド。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 321 E