特許

J-GLOBAL ID：200903066956753984

カーフチェック方法

発明者： 吉井 政弘
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-300812
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130806
出願日： 1993年11月08日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】 半導体ウェーハのダイシング等の精密切削において、ワークの形状認識により得られた情報に基づいてカーフチェックを円滑に出来るようにした、カーフチェック方法を提供する。【構成】 被加工物に形成された切削溝(カーフ)の状態を光学的手段によってチェックするカーフチェック方法において、被加工物の位置、形状、大きさを形状認識手段によって認識する形状認識工程と、形状認識によって得られた情報に基づいてカーフを光学的手段の直下に位置付けてカーフチェックを遂行するカーフチェック工程と、からなる。

請求項（抜粋）：

被加工物に形成された切削溝(カーフ)の状態を光学的手段によってチェックするカーフチェック方法において、被加工物の位置、形状、大きさを形状認識手段によって認識する形状認識工程と、形状認識によって得られた情報に基づいてカーフを光学的手段の直下に位置付けてカーフチェックを遂行するカーフチェック工程と、からなるカーフチェック方法。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  B23D 3/02 ,  G01B 11/24 ,  H01L 21/301

FI (3件)：

H01L 21/78 R ,  H01L 21/78 Z ,  H01L 21/78 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-287347
  
• 特開平3-236260
  
• 特開平4-050709