特許
J-GLOBAL ID：200903066960241696
ウエハの洗浄処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-143859
公開番号（公開出願番号）：特開平7-006990
出願日： 1993年06月15日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】ウエハに付着した金属不純物と微粒子を同時に除去することが可能なウエハの洗浄処理方法を提供する。【構成】酸化力を有する溶液と、酸化膜をエッチングする溶液と、pH調整溶液と、からなる混合溶液中で、ウエハを洗浄する。
請求項（抜粋）：
酸化力を有する溶液と、酸化膜をエッチングする溶液と、pH調整溶液と、からなる混合溶液中で、ウエハを洗浄する工程を備えたことを特徴とするウエハの洗浄処理方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, C11D 7/02
