特許
J-GLOBAL ID：200903066961103211
シート貼付装置及び貼付方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-328648
公開番号（公開出願番号）：特開2009-152363
出願日： 2007年12月20日
公開日（公表日）： 2009年07月09日
要約：
【課題】複雑な減圧制御を必要とすることなく減圧下で接着シートを被着体に貼付することができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。【解決手段】半導体ウエハWを支持するテーブル11を収容する第1のケース20と、当該第1のケース20と共に減圧室Cを形成する第2のケース21と、半導体ウエハWに臨む位置に接着シートSを供給する供給手段15とを備えている。第2のケース21には、単一の減圧室Cを形成した状態で、前記減圧室Cから独立して圧力制御可能な圧力調整室C1を形成する隔壁30が設けられ、減圧室Cを減圧状態とし、圧力調整室C1の圧力を相対的に上昇させることで、減圧下で接着シートSを半導体ウエハWに貼付する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被着体を支持するテーブルと、当該テーブルを収容するとともに内部に減圧室を形成する開閉可能なケースと、前記被着体に臨む位置に接着シートを供給する供給手段とを含み、
前記ケースを閉塞して減圧下で前記接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、
前記ケースを閉塞して単一の減圧室を形成した状態で、当該減圧室内に前記被着体と当該被着体上の接着シートとを囲んで前記減圧室から独立して圧力制御可能な圧力調整室が形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
5F031CA02
, 5F031DA15
, 5F031HA78
, 5F031MA22
, 5F031MA34
, 5F031MA37
, 5F031NA05
