特許
J-GLOBAL ID：200903066961961846
光学部品用の有機系被膜形成性物質を含浸固化している多孔質セラミックス焼結体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須藤 阿佐子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-199871
公開番号（公開出願番号）：特開平8-337869
出願日： 1990年07月09日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：
【要約】【目的】 従来の保護被膜の形成には不可欠とされてきた溶剤の使用と、湿式洗浄工程の使用の欠点を解消することを目的とする。【構成】 真空中で気化し得る光学部品用の有機系被膜形成性物質を含浸固化していることを特徴とする多孔質セラミックス焼結体。有機系被膜形成性物質はポリエチレンワックス、シリコーン樹脂化合物が例示される。【効果】 有機物系の被膜形成物質を溶媒を全く使用することなく蒸発させて付着固化させる被膜形成性物質を含浸固化させた多孔質セラミックス焼結体を提供することができる。セラミックスの大きさ、溶液の粘度などを調整することで被膜形成物質の量が調整でき、その作用を及ぼす必要のある被処理物の量が一定している真空蒸着装置に対していつも決まった量を供給できる。特にその必要量が微量でよい場合は純粋な被膜形成物質のみでは計量に困難を伴い熟練を要するがいつも一定量をセラミックスに吸収させてあれば特別な計器を必要とせず係数が容易である。
請求項（抜粋）：
真空中で気化し得る光学部品用の有機系被膜形成性物質を含浸固化していることを特徴とする多孔質セラミックス焼結体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/24 D
, C23C 14/12
