特許
J-GLOBAL ID:200903066969270117

質量選別器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 萩野 平 (外3名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-530714
公開番号(公開出願番号):特表2000-505589
出願日: 1997年02月27日
公開日(公表日): 2000年05月09日
要約:
【要約】質量に応じて粒子のビームの中にある粒子を選別するための質量選別器が開示されている。選別器は、集束された粒子のビームを通すための長手の第1の通路(16)を形成する対になった第1の電極(12、14)を有している。第2の電極対(24、26)は、第1の電極対(12、14)から間隔をあけて位置しており、分離された粒子が通るための長手の第2の通路(28)を形成している。第1と第2の通路(16、28)は、互いに平行である。第1の電圧パルスが第1の電極(12、14)を横断してかけられ、第1の通路(16)の中にあるビームの一部の中の粒子が、前記第1の通路に沿った動きの方向に対して横方向に加速され、前記第2の通路に向って進む。また、第2の電圧パルスが第2の電極(24、26)を横断してかけられ、前記第1の電圧パルスによって加速され、前記第2の通路(28)に入った粒子が、前記第2の通路に沿った動きの方向に対して横方向に減速される。
請求項(抜粋):
質量に応じて粒子のビームの中の粒子を選別するための質量選別器において、その間に粒子のビームが通るための長手の第1の通路を形成する第1の電極対と、使用中に、集束した粒子のビームが長手の第1の通路に沿って通るようにするための粒子のビームを集束させる手段と、その間に選別した粒子が通るための、前記第1の通路に平行な長手の第2の通路を形成し、かつ第1の電極対から、第1の通路が伸長している方向を横断する方向に間隔をあけて配置された、第2の電極対と、使用中に、前記長手の第1の通路の中を通っているビームの一部にある粒子が、前記第1の通路に沿った動きの方向に対して横断する方向に加速されて前記第2の通路に向うように、前記第1の電極を横断して第1の電圧パルスをかけるための第1の加圧手段と、前記第2の電極を横断して第2の電圧パルスをかけ、使用中に、前記第1の電圧パルスによって加速されて前記第2の通路に入った粒子が前記第2の通路に沿った動きの方向に対して横方向に減速されるようにするための第2の加圧手段と、前記第1の電圧パルスが実質的に一定の運動量加速で前記ビームの一部にある粒子を加速し、前記第1の電圧パルスの後に、前記第2の加圧手段が予め選択した時間間隔で実質的に一定の運動量減速で前記第2の電圧パルスをかけて、選別した質量の粒子が、前記第1の通路に沿って通過した時と実質的に同じ相互配列で前記第2の通路に沿って通過するように、第1と第2の加圧手段を制御するための制御手段とを含むことを特徴とする質量選別器。
IPC (2件):
H01J 49/40 ,  H01J 49/06
FI (2件):
H01J 49/40 ,  H01J 49/06
引用特許:
審査官引用 (2件)

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