クライオポンプおよび真空排気方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-286512
公開番号（公開出願番号）：特開平10-131858
出願日： 1996年10月29日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：

【要約】【課題】磁性蓄冷材を用いても第1ステージクライオパネルの温度が50Kより低くならないようにする。【解決手段】第1ステージクライオパネル16は、低熱伝導率の間座15を介して第1ヒートステージ13aの先端に取り付けられる。こうして、第1ステージクライオパネル16の温度が50K以上に保たれる。その結果、第1ステージクライオパネル16に対して窒素ガスが凝縮/放出されず、チャンバ内の圧力が安定する。また、第2ステージクライオパネル19を円板に成して表面積を小さくする。こうして、第1ステージクライオパネル16から第2ステージクライオパネル19への熱負荷を小さくして、第2ステージクライオパネル19の温度を4Kレベルに保つ。その結果、第2ステージクライオパネル19で窒素ガスおよび水素ガスを凝縮して排気でき、水素ガス吸着用の活性炭を必要としない。

請求項（抜粋）：

2段膨張式冷凍機(12)の1段目の膨張シリンダ(13)によって冷却される第1クライオパネル(16)と、上記2段膨張式冷凍機(12)の2段目の膨張シリンダ(14)によって冷却される第2クライオパネル(19)を有するクライオポンプにおいて、上記第1クライオパネル(16)は、間座(15)を介して上記1段目の膨張シリンダ(13)のヒートステージ(13a)に取り付けられていることを特徴とするクライオポンプ。

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